高純度二氧化碳
6N級高純度二氧化碳（99.9999%），專為先進工業與精密技術打造： 半導體清洗：超臨界（sCO₂）低表面張力與高穿透力，精準去除微塵與有機殘留，不傷電路結構。 精密檢測：作為超臨界流體層析（SFC）高穩定移動相，提供極佳檢測精度。 生技與萃取：零溶劑殘留，適用於高階醫藥成分與天然活性物質萃取。
高純度特殊氣體貫穿晶圓製造與封裝測試，在黃光微影、薄膜沉積、乾式蝕刻及離子植入等關鍵環節中扮演核心角色。我們以穩定的純度與品質，為前瞻晶圓技術提供無暇的後盾。
| Process Name | Specialty Gases Used |
|---|---|
| 蝕刻 (Etching) | HF, HCl, HBr, CF4, CHF3, CClF3, PH3, B2H6, SiH4, C3F8, SiF4, SF6, CBrF3, C2Cl2F4, C2H2, PH3, CCl2F2, Cl2 |
| 擴散 (Diffusion) | AsH3, AsCl3, PH3, PCl3, POCl3, B2H6, BCl3, BBr3, SiCl4, SiH2Cl2, Cl2, NH3 |
| 離子植入 (Ion Implantation) | H2, BF3, PF5, SiF4, PF3, AsH3, B2H6, AsCl3, BCl3 |
| 化學氣相沉積 (Chemical Vapor Deposition, CVD) | C2H2, CHF3, CF4, C2F6, He, SiH2Cl2, NH3, SiHCl3, SiCl4, NF3, SiF4, N2O, B2H6 |
| 化學氣相沉積 (Chemical Vapor Deposition) | SiH4, SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4, AsH3, AsCl3, PH3, B2H6 |
| 磊晶 (Epitaxy) | BCl3, SiHCl3, SiH2Cl2, BF3 |
| 氧化 (Oxidation) | O2, H2O, N2O |
| 濺鍍 (Sputtering) | Ar, N2, NH3 |
| 去光阻 / 晶圓清洗 (Photoresist Stripping / Wafer Cleaning) | CO2, CF4, O2, NF3 |
高純度氣體在精密電子元件、面板與光電製造中，是關鍵的環境控制與反應介質。從表面防氧化保護、精準微化學沉積到淨化 purge，我們以穩定的品質與技術支援，確保您的製程順暢推進。
乾冰清洗是精密製造業不可或缺的無損清潔技術，由於乾冰會直接氣化為二氧化碳，過程完全不傷工件表面、無水份殘留、不導電且零毒性。其利用乾冰顆粒高速撞擊，透過極低溫使污垢瞬間脆化，並利用乾冰昇華膨脹的熱衝擊將雜質剝離。
乾冰是冷鏈物流與溫控運輸的核心冷源。其超低溫特性，能在無車載或機載電源的環境下進行被動式長效保鮮，且因為乾冰昇華後直接轉變為氣體，不會殘留水漬殘渣、不導電且零毒性，能完美防止生鮮食材及疫苗藥品的全流程品質安全。
隨著環保法規逐漸嚴格，二氧化碳以乾冰耗材轉變到天然冷媒 R-744 循環冷媒，二氧化碳產業將進一步深化與綠色能源、極致節能技術的結合，成為推動企業實現 ESG 碳中和戰略的核心引擎。
集團發展沿革與分工
永鈦氣體
永鈦氣體工業股份有限公司為集團的核心技術標竿，專注於將二氧化碳提純至超高純度電子等級（6N+/99.9999%+）及半導體特殊氣體，精準滿足晶圓清洗與先進製程等高階需求。
在低溫與綠色應用領域，我們於桃園區與蘆竹海湖廠設有專屬生產基地，憑藉自營車隊提供多元規格乾冰的在地即時配送，全方位支援食品生技冷鏈；同時引進與提供專業乾冰清洗機及專用清洗乾冰，為工業設備提供零水廢、無化學殘留的高效綠色清洗解決方案。
信豐碳酸
信豐碳酸成立於 1990 年，專攻普通工業級二氧化碳生產與代理大型低溫儲槽。設有穩定的氣源生產基地，為各大工業與傳統製造業提供穩健的氣體供應。
永豐氣體
成立於 1965 年，為集團發展的起點。深耕工業氣體領域多年，專注於工業用及高純度乙炔的製造與供應，提供穩健可靠的基礎氣體服務。
穩定供應｜專業服務｜安全與品質｜產業應用經驗
我們全面通過 ISO 9001、ISO 14001 與 HACCP 國際認證。從嚴謹的品質控管、永續的環境保護到最高規格的食品安全防線，堅持以標準化流程，為您提供無懈可擊的氣體品質與服務。
氣體分析室
